工藝的效率和產量需要穩定的氣流。該氣流可以通過熱質量流量控制器進行測量和控制。作為Bronkhorst High-Tech的產品經理,我體驗到各種外部因素都會影響質量流量控制器(MFC)的測量精度和控制穩定性。
外部因素的一些示例是:
溫度波動
管路壓力波動
這些波動可能是由于氣瓶中的壓力降低或由于多個流量控制器之間的串擾引起的。Bronkhorst如何解決這些問題,我們提供哪些解決方案?
與質量流量控制器的串擾
什么是串擾?當多個質量流量控制器緊靠同一管道放置或安裝在同一導軌或框架上時,通常會發生串擾。來自氣體調節器的管路壓力受流量控制器的流量需求的影響。當流量儀表更改其設定值時,它將影響管路壓力。由于這種壓力變化,會影響常規流量控制器中的流量測量部分,從而指示不正確的流量測量結果,該流量測量結果并不代表通過MFC的實際流量。
流量控制器的標稱流量越小,對較大的,并行安裝的MFC的設定值變化的影響越大。
靜態和動態壓力補償
靜壓補償是對緩慢的壓力變化(例如來自氣瓶的緩慢降低的壓力)的補償。通過將壓力變送器與質量流量控制器集成在一起,以及車載轉換算法,可以對實際流體特性進行實時計算。對于半熱量測量,在計算中使用密度,粘度,導熱系數和熱容量。在壓力和溫度的影響下,這些特性會發生變化。因此,可以測量和處理實際溫度和壓力,從而實現精確的流量測量和控制穩定性。
動態壓力補償是對快速壓力變化的補償。當同一供應管線上的高流量質量流量控制器更改設定值時,可能會發生這種情況,這是不希望的效果,也稱為“串擾”。一旦壓力傳感器識別出這些快速的壓力變化,就將相應地調節閥門控制,以使流量保持穩定。
通過板載轉換實現穩定的流量控制
車載轉換算法可將存儲的校準液轉換為100種車載氣體*(多流體多量程功能)之一。
機載轉換模型中使用實際測得的溫度和壓力來補償工藝條件的變化。這導致更可靠,更準確的轉換和控制穩定性。
給用戶帶來的好處
首先,由于改善了流量測量和控制的準確性,因此可以優化和更穩定地處理過程,從而提高了過程良率。
其次,安裝簡便,因為不需要精確地提供/滿足儀器訂購的過程條件。
第三,由于所供應的管路壓力對于儀器的精度和控制穩定性而言不再那么重要,因此需要精度較低的零件或什至減少供應管路中的零件。這樣可以節省例如壓力調節器的成本。